據(jù)臺媒報道，今日上午10點20分，位于中國臺灣新竹科學(xué)園區(qū)的亞東氣體發(fā)生起火事件?；饎菰谏衔?1時許一度變得十分猛烈，整棟廠房都被大火及濃煙吞噬。根據(jù)當(dāng)?shù)鼐用裾f法，疑似聽到3聲爆炸聲，后續(xù)工廠就不斷冒出火光和濃煙，甚至數(shù)公里外都看得見。亞東氣體指出，目前工廠停工、無人員傷亡，目前也沒有供應(yīng)氣體，無氣體擴散疑慮，但因火勢燃燒超過1小時，廠房RC結(jié)構(gòu)恐怕受損，還需要待火勢撲滅后，才能確認(rèn)是否有倒塌疑慮，以及厘清起火原因。臺積電、聯(lián)電等半導(dǎo)體業(yè)晶圓廠制程需要用到的氮氣、氨氣、氫氣，還有制程中CVD、Etch會用到特殊氣體，亞東氣體均有供應(yīng)，是否會影響到半導(dǎo)體的氣體供應(yīng)，有待災(zāi)損的情況而定。
現(xiàn)場救災(zāi)人員表示，這是多年來竹科園最嚴(yán)重的火災(zāi)案，因變壓器故障引發(fā)爆炸起火，內(nèi)中有很多絕緣油，這非常難滅，目前約動員1百多個消防人員救災(zāi)中，整棟廠房尚在燃燒中。
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外傳因亞東氣體大火造成竹科大規(guī)模停電？對此，竹科管理局表示，亞東氣體廠區(qū)內(nèi)變電器發(fā)生火災(zāi)，連帶影響竹科發(fā)生C級壓降，目前警消人員已緊急前往灌救和處理。據(jù)臺電壓降等級分類，C級壓降是壓降持續(xù)時間落于0.05秒到1.0秒之間的壓降事件。關(guān)于當(dāng)日上午發(fā)生的短暫壓降，世界先進回復(fù)說，公司部分機臺有停機進行檢查，目前已陸續(xù)復(fù)機中，對生產(chǎn)影響有限。力積電表示，有加裝不斷電系統(tǒng)的機臺，隨即馬上啟動，但未加裝的機臺受到約80多毫秒壓降的影響，實際的報廢晶圓片還在評估中，但依照過去經(jīng)驗來看，通常影響不大，且認(rèn)為明天應(yīng)該都會恢復(fù)正常。臺積電、聯(lián)電則表示，由于壓降時間非常短，產(chǎn)線未受影響，目前生產(chǎn)一切正常。
亞東氣體(Air Liquide Far Eastern) 是由法國液化空氣集團與遠(yuǎn)紡集團于1987年在臺灣成立的合資公司。2020年，法液空集團宣布投資2億歐元分別在臺灣的臺南和新竹科學(xué)園建設(shè)工廠，包括為新竹科技園的一些邏輯IC芯片研發(fā)工廠供氣。據(jù)悉，法液空通過其控股的遠(yuǎn)東氣體在新竹建設(shè)兩個大型工廠主要生產(chǎn)高純氮氣和氬氣，新增12萬標(biāo)準(zhǔn)立方米/小時的高純氮氣。
